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            膜厚量測儀 / 膜厚量測儀HDC系列
 
本機台為一高精度之量測系統,利用高強度之鋼材,提供產品檢測的安定性。

平台基板採用高精密花崗石【精密級(歐規00級)之平板】,具有高精度不變形之特性,強化系統本身的穩定性。

花崗石上架軌道結合雙立柱之龍門型機構,將量測機構架於立柱橫樑上固定具高度的穩定性,Stage平台機構採整合式平台設計與龍門完全隔離,Stage移動時將不會影響測頭機組,使得量測數據更為精準。
系統本體均為粉體塗裝,強化系統防鏽功能。
規格項目 詳細規格
機型種類 HDC2200*2500*100
設計方式 龍門型
XYZ軸行程 mm 2200*2500*100
控制方式(手動/電動/CNC) 電動
光學系統選擇 N/A
光學尺解析讀數 0.1um
連線方式 In-Line
機台精度 (X、Y軸) 3.5+9L/1000
重複精度 (X、Y軸) X:1.5um/1σ 10回 Y:1.5um/1σ 10回
解析度 z軸 1um
量測軟體 MAINSOFT
電力需求 3PH AC220V 50/60Hz 30A 6600W
外型尺寸 W3500*D3880*H3300
機台重量 18400KG
工作平台載重 20KG
移動速度 200mm/s
補 充 1.STAGE平台:自動Alignment系統。
2.機台配置有氣囊式避震糸統。
3.Z軸機構可搭配各種模組。
4.PY軸採用進口空氣軸承設計(Air Bearing)
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