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            客製化
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其它
            特殊模具、熱處理加工

            膜厚量測儀 / 膜厚量測儀HDC系列
 
規格項目 詳細規格
機型種類 HDC1950*2250*100
設計方式 龍門型
XYZ軸行程 mm 1950*2250*100
控制方式(手動/電動/CNC) CNC
光學系統選擇 N/A
光學尺解析讀數 0.1um
連線方式 In-Line
機台精度 (X、Y軸) 3.5+9L/1000
重複精度 (X、Y軸) X:1.5um/1σ 10回 Y:1.5um/1σ 10回
解析度 z軸 1um
量測軟體 MAINSOFT
電力需求 3PH AC220V 50/60Hz 30A 6600W
外型尺寸 W3400*D3400*H3000
機台重量 15000KG
工作平台載重 20KG
移動速度 200mm/s
補 充 1.STAGE平台:自動Alignment系統。
2.機台配置有氣囊式避震糸統。
3.Z軸機構可搭配各種模組。
4.PY軸採用進口空氣軸承設計(Air Bearing)
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